镀膜夹具也称：被银夹具、SMD被银夹具、微调片被银夹具、掩膜夹具、晶片掩膜夹具等等。镀膜夹具是用不锈钢SUS430、SUS304、SUS301、SUS316等金属不锈钢材料经过化学蚀刻加工以及真空扩散焊接而成的晶片清洗和真空镀膜用的一种夹具。镀膜夹具是石英晶体或晶片的双面溅射的装置，也可以称为掩膜夹具，它包括真空腔体、真空抽气机组、工件架、磁控溅射靶、射频等离子清洗器和惰性气体充气器，所述真空抽气机组和惰性气体充气器分别与真空腔体相连，其特征在于所述真空腔体中设有工件架，该工件架能转动，所述工件架上安装有能翻转的基片架，所述基片架上设有载片盘，所述载片盘上设置有石英晶体片和掩膜片，工件架的一侧至少设置两个带挡膜罩的磁控溅射靶，另一侧设置一个射频等离子在线清洗器，其中一个磁控溅射靶为过渡层溅射靶，其它磁控溅射靶为电极层溅射靶。掩膜夹具通常的综合厚度都在1.0mm以上，双面都有不同形状和深度的腔体，制作时通常是分层蚀刻，然后通过真空扩散焊接的方式把板子贴合在一起，这样一个成品就完成了。